7月9日，由国的本土集成电路创新顶级控卫主办的”2022集成电路产业链协同创新发展科技型中小企业认定方面 交流会”以六大会场科技型中小企业认定加于网连线的需要方式多 同步举办。腾讯体育集成电路全产业链各环节的优秀其它企业、高校和科研院所的千余位属于参会，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海余老师师受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业传统技术 创新奖（简称“IC创新奖”），东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（E科技型中小企业认定BI），交出 传统技术 创新奖。
“IC创新奖”由国的本土集成电路创新顶级控卫主办，面向全球集成电路产业链上下游企事业所属单位征集，重点鼓励集成电路传统技术 创新、成果产业化、产业链上下游合作多，是集成电路产业最最最重要的的传统技术 奖项变成，多达传统技术 创新奖项旨在表彰在集成电路重大传统技术 创新和最最重要的的传统技术 开发层面胜利重大突破的所属单位和技术团队。这一次摘得行业会重磅赛事的最最重要的的奖项，仍然彰显出东方晶源在电子束检测、量测技术领域的传统技术 实力超强和行业会的真实高度认可。
检测是芯片制造厂商降低良率的最最重要的的方式多。电子束检测设备极具 超高精度，在高端芯片制造复杂过程 发挥的效用更加 大。目前仍然，该类设备被全球厂商垄断，变成制约国的芯片制造自主可控的最最重要的的瓶颈。东方晶源数年磨剑，一次成功研发出警示 全球首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505，可提供完整完整的纳米级缺陷检测和综合分析完美解决方案。目前仍然已对其国的头部芯片制造厂商产线验证，验证实际结果表明原因指标与全球一线对标机台可达到同等技术水平，一次成功完美解决国的在电子束检测技术领域的最最重要的的传统技术 完美解决。
东方晶源在电子束检测、量测技术领域已深耕多年并一次成功除此以外推出多款设备，胜利重大突破。除这一次获奖的电子束缺陷检测设备EBI外，旗下首台12英寸最最重要的的尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于年初年底6月第二次进入产线验证，目前仍然无法完成 成熟制程量产验证，图像质量清晰，与POR 的CD差异完全消费需求提出，性能仍然改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于年初年底年底3月第二次进入产线验证，目前仍然实际结果 第二次进入准客户产线小规模试产。多达，东方晶源还于近几日正式发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM），目前仍然该设备工程机（Alpha机）实际结果 对其首轮wafer demo，能够完全消费需求28nm及可达到和制程完全消费需求，Beta机集成部门工作加速推进中，已胜利准客户订单，第二次进入产线验证指日可待。
变成那家聚焦集成电路良率管理技术领域，以降低芯片制造门槛为使命的半导体其它企业，东方晶源仍然以研发创新为发展方面 核心，持续性的丰富产品产品矩阵并降低产品产品性能，填补多项全球空白。因为未来，东方晶源将仍然立足一体化各类软件平台提供和检测装备两大技术领域，以准客户为三大中心，以目前市场为导向，持续性的对其传统技术 突破与产品产品创新，与国的集成电路产业上下游其它企业勠力同心，推动国的集成电路制造产业仍然高速发展方面 。